Abbildungsprojektions-Elektronenstrahlgerät zur Inspektion von Werkstücken mit Hilfe der vom Werkstück Reflektierten Elektronen
WO2004068529
Art A2
12. August 2004
Anmelder: EBARA CORPORATION, Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004068529
- Aktenzeichen
- EP04705528
- Anmeldetag
- 27. Januar 2004
- Veröffentlichung
- 12. August 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/244G01N23/203H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- EBARA CORPORATION
Kabushiki Kaisha Toshiba - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Toshiba
Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.
13.642 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.