Illumination optical system, illuminating device, projection exposure apparatus and exposure method

WO2004068564 Art A1 12. August 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004068564
Aktenzeichen: EP03786388
Anmeldetag: 26. Dezember 2003
Veröffentlichung: 12. August 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20G21K1/06G21K5/02G02B5/08G02B27/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von