Polishing fluid, method of polishing, and polishing apparatus

WO2004072332 Art A1 26. August 2004

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004072332
Aktenzeichen: EP03703334
Anmeldetag: 12. Februar 2003
Veröffentlichung: 26. August 2004
Rechtsraum: WO
IPC: C25F3/16C23F1/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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