System and method for inspection of silicon wafers

WO2004072629 Art A1 26. August 2004

Anmelder: Nanyang Technological University, International Semiconductor Products (ISP) Pte Ltd. 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004072629
Aktenzeichen: EP04711530
Anmeldetag: 16. Februar 2004
Veröffentlichung: 26. August 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nanyang Technological University
International Semiconductor Products (ISP) Pte Ltd.
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Nanyang Technological University

Die Nanyang Technological University ist eine staatliche Forschungsuniversität in Singapur, die in den Bereichen Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologie international hoch angesehen ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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