Method for manufacturing semiconductor device and apparatus for manufacturing semiconductor device

WO2004073073 Art A1 26. August 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004073073
Aktenzeichen: EP04711029
Anmeldetag: 13. Februar 2004
Veröffentlichung: 26. August 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/78H01L21/336H01L21/316H01L29/49H01L29/423

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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