Gas feeding apparatus

WO2004073850 Art A1 2. September 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004073850
Aktenzeichen: EP04704011
Anmeldetag: 21. Januar 2004
Veröffentlichung: 2. September 2004
Rechtsraum: WO
IPC: B01J4/00B01J19/26C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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