Standard member for length measurement, method for producing the same, and electron beam length measuring device using the same

WO2004074771 Art A1 2. September 2004

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004074771
Aktenzeichen: EP03723227
Anmeldetag: 28. April 2003
Veröffentlichung: 2. September 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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