Scanning probe microscope and sample observing method using this and semiconductor device production method

WO2004074816 Art A1 2. September 2004

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004074816
Aktenzeichen: EP04706340
Anmeldetag: 29. Januar 2004
Veröffentlichung: 2. September 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01N13/16G01N13/10G12B21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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