Verfahren und Vorrichtung zur Abgabe von Halbleiterverarbeitungslösungen mit mehreren Spritzen für Flüssigkeitsabgabeanordnungen

WO2004075264 Art A2 2. September 2004

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004075264
Aktenzeichen: EP04713400
Anmeldetag: 20. Februar 2004
Veröffentlichung: 2. September 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00G03F7/20B05C5/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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