Method for producing hydrogenated silicon oxycarbide films

WO2004077543 Art A1 10. September 2004

Anmelder: Dow Corning Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004077543
Aktenzeichen: EP04705338
Anmeldetag: 26. Januar 2004
Veröffentlichung: 10. September 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/316C23C16/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Dow Corning Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Dow Corning

US-amerikanischer Hersteller von Silikonen und siliziumbasierten Materialien mit Sitz in Michigan, gegründet 1943 als Joint Venture von Dow Chemical und Corning. Das Unternehmen firmiert heute als Dow Silicones Corporation.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von