Vacuum ultraviolt ray bonding apparatus

WO2004078868 Art A1 16. September 2004

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004078868
Aktenzeichen
EP04709712
Anmeldetag
10. Februar 2004
Veröffentlichung
16. September 2004
Rechtsraum
WO
IPC
C09J5/00G02B5/30H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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