Apparatus for attachment of semiconductor hardware

WO2004079778 Art A2 16. September 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004079778
Aktenzeichen: EP04714999
Anmeldetag: 26. Februar 2004
Veröffentlichung: 16. September 2004
Rechtsraum: WO
IPC: B23P19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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