In-vacuum drive device and substrate transportation system using the same
WO2004079884
Art A1
16. September 2004
Anmelder: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004079884
- Aktenzeichen
- EP04717254
- Anmeldetag
- 4. März 2004
- Veröffentlichung
- 16. September 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H02K41/03
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Yaskawa Electric
Yaskawa Electric Corporation ist ein japanischer Hersteller von Industrierobotern, Servomotoren und Antriebstechnik mit Sitz in Kitakyushu.
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