Semiconductor device

WO2004081255 Art A1 23. September 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Kondoh, Eiichi 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004081255
Aktenzeichen: EP03768345
Anmeldetag: 26. Dezember 2003
Veröffentlichung: 23. September 2004
Rechtsraum: WO
IPC: C23C18/04C23C18/18C25D7/12H01L21/288

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Kondoh, Eiichi
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von