Semiconductor device producing device, and semiconductor device producing method

WO2004081997 Art A1 23. September 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION, Okamoto, Kazuya 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004081997
Aktenzeichen: EP04720245
Anmeldetag: 12. März 2004
Veröffentlichung: 23. September 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L25/18H01L27/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Okamoto, Kazuya
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von