Method of preparing quaternary compositional ratio gradient film, method of preparing binary compositional ratio/thickness gradient film employed therein and method of sampling compositional ratio of multiple composition substance

WO2004083481 Art A1 30. September 2004

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004083481
Aktenzeichen: EP04720193
Anmeldetag: 12. März 2004
Veröffentlichung: 30. September 2004
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/08C23C16/30

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Firma: Japan Science and Technology Agency
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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