Processor

WO2004085704 Art A1 7. Oktober 2004

Anmelder: Goto, Toshio, Hori, Masaru, TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004085704
Aktenzeichen: EP03715415
Anmeldetag: 26. März 2003
Veröffentlichung: 7. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/52H01L21/205H01L21/3065H05H1/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Goto, Toshio
Hori, Masaru
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von