Parylene capacitive accelerometer utilizing electrical fringing field sensing and method of making

WO2004086056 Art A2 7. Oktober 2004

Anmelder: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004086056
Aktenzeichen: EP04720515
Anmeldetag: 12. März 2004
Veröffentlichung: 7. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01P15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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