Vorrichtung zur Deformationsarmen Austauschbaren Lagerung eines Optischen Elements

WO2004086148 Art A1 7. Oktober 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004086148
Aktenzeichen: EP03714879
Anmeldetag: 26. März 2003
Veröffentlichung: 7. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/02G02B7/14

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von