Method and apparatus for controlling electron beam current

WO2004086439 Art A2 7. Oktober 2004

Anmelder: UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004086439
Aktenzeichen: EP04749310
Anmeldetag: 3. Februar 2004
Veröffentlichung: 7. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L35/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of North Carolina at Chapel Hill

US-amerikanische öffentliche Universität in North Carolina, eine der ältesten staatlichen Hochschulen der USA mit umfangreicher Forschung unter anderem in Medizin und Naturwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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