Container, container producing method, substrate processing device, and semiconductor device producing method

WO2004086474 Art A1 7. Oktober 2004

Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004086474
Aktenzeichen: EP04717272
Anmeldetag: 4. März 2004
Veröffentlichung: 7. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205H01L21/31H01L21/22C23C16/44B01J3/00B01J3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Kokusai Electric Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

21.154 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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