Method of etching silicon substrate and etching apparatus therefor

WO2004086478 Art A1 7. Oktober 2004

Anmelder: SUMITOMO PRECISION PRODUCTS COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004086478
Aktenzeichen: EP04721711
Anmeldetag: 18. März 2004
Veröffentlichung: 7. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMITOMO PRECISION PRODUCTS COMPANY LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Precision Products

Sumitomo Precision Products ist ein japanischer Hersteller von Präzisionskomponenten mit Sitz in Amagasaki, der zur Sumitomo-Unternehmensgruppe gehört und unter anderem Fahrwerke für Flugzeuge sowie Wärmetauscher fertigt. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, Kühltechnik und Mess- und Prüftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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