Dielectric-in-dielectric damascene process for manufacturing planar waveguides

WO2004088376 Art A1 14. Oktober 2004

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004088376
Aktenzeichen: EP04758489
Anmeldetag: 29. März 2004
Veröffentlichung: 14. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G02B6/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cabot Microelectronics Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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