Mask blanks production method and mask production method

WO2004088419 Art A1 14. Oktober 2004

Anmelder: HOYA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004088419
Aktenzeichen
EP04724724
Anmeldetag
31. März 2004
Veröffentlichung
14. Oktober 2004
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/08G03F1/14H01L21/027G03F7/11
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HOYA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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