Mask blanks production method and mask production method
WO2004088419
Art A1
14. Oktober 2004
Anmelder: HOYA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004088419
- Aktenzeichen
- EP04724724
- Anmeldetag
- 31. März 2004
- Veröffentlichung
- 14. Oktober 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/08G03F1/14H01L21/027G03F7/11
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- HOYA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hoya
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.
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Vertreten von
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