Method and system for monitoring rf impedance to determine the parameters of a wafer on an electrostatic chuck

WO2004088730 Art A1 14. Oktober 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004088730
Aktenzeichen: EP04758438
Anmeldetag: 26. März 2004
Veröffentlichung: 14. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00C30B25/00C30B31/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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