Heater for semiconductor manufacturing and inspecting equipment

WO2004089039 Art A1 14. Oktober 2004

Anmelder: IBIDEN CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004089039
Aktenzeichen: EP03712986
Anmeldetag: 31. März 2003
Veröffentlichung: 14. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H05B3/10H05B3/00H01L21/60H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IBIDEN CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ibiden

Ibiden ist ein japanischer Hersteller elektronischer Materialien mit Sitz in Ogaki, spezialisiert auf IC-Substrate für Halbleiter sowie Keramikprodukte für die Automobil- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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