Diffusor, Wellenfrontquelle, Wellenfrontsensor und Projektionsbelichtungsanlage

WO2004090490 Art A1 21. Oktober 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004090490
Aktenzeichen: EP03773601
Anmeldetag: 7. August 2003
Veröffentlichung: 21. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01J9/02G03F7/20G01M11/02G02B5/02G02B5/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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