Illuminating optical device, projection exposure system and exposure method

WO2004090955 Art A1 21. Oktober 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004090955
Aktenzeichen: EP04725483
Anmeldetag: 2. April 2004
Veröffentlichung: 21. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20G02B19/00G21K5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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