Light source unit, illumination optical system, exposure apparatus and exposure method

WO2004090957 Art A1 21. Oktober 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004090957
Aktenzeichen: EP04726626
Anmeldetag: 8. April 2004
Veröffentlichung: 21. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20G21K1/06H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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