Verfahren zum Herstellen von Siliziumnitrid-Filmen mittels Dampfphasenabscheidung
WO2004092441
Art A2
28. Oktober 2004
Anmelder: L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004092441
- Aktenzeichen
- EP04726588
- Anmeldetag
- 8. April 2004
- Veröffentlichung
- 28. Oktober 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
L'Air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Étude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Die unter diesem Namen firmierende Gesellschaft ist die historische Rechtsform des französischen Industriegasekonzerns Air Liquide mit Sitz in Paris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Heiz-, Kühl- und Beleuchtungstechnik sowie Verfahrens- und Trenntechnik im Bereich Gasetrennung. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2007.
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