Resist stripping method and device

WO2004093172 Art A1 28. Oktober 2004

Anmelder: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004093172
Aktenzeichen: EP04727988
Anmeldetag: 16. April 2004
Veröffentlichung: 28. Oktober 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sekisui Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Osaka, tätig in den Bereichen Hochleistungskunststoffe, Bauelemente und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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