Interferometer system, signal processing method in interferometer system, stage using the signal processing method

WO2004094940 Art A1 4. November 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004094940
Aktenzeichen: EP04728700
Anmeldetag: 21. April 2004
Veröffentlichung: 4. November 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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