System zur Optischen Projektion
WO2004095137
Art A1
4. November 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004095137
- Aktenzeichen
- EP03722540
- Anmeldetag
- 24. April 2003
- Veröffentlichung
- 4. November 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20G02B17/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schwanhäusser, Gernot
Stuttgart, Deutschland
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