Verfahren und Vorrichtung zur Konditionierung eines Gasstromes um Somit die Messung einer Druckänderungsrate zu Verbessern

WO2004095155 Art A1 4. November 2004

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004095155
Aktenzeichen: EP04710230
Anmeldetag: 11. Februar 2004
Veröffentlichung: 4. November 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06G05D7/01G01F1/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS INSTRUMENTS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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