Elektrostatische Hochleistungsklammer mit einer Widerstandsschicht, Mikro-Rillen und einer Dielektrischen Schicht

WO2004095477 Art A2 4. November 2004

Anmelder: Axcelis Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004095477
Aktenzeichen: EP04750534
Anmeldetag: 21. April 2004
Veröffentlichung: 4. November 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Axcelis Technologies, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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