Organic matter removing apparatus, organic matter removing method, ozone water jet nozzle, and organic matter removing apparatus for mask substrate

WO2004095550 Art A1 4. November 2004

Anmelder: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004095550
Aktenzeichen
EP04728636
Anmeldetag
21. April 2004
Veröffentlichung
4. November 2004
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027G03F7/42H01L21/304B08B3/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SEKISUI CHEMICAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sekisui Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Osaka, tätig in den Bereichen Hochleistungskunststoffe, Bauelemente und elektronische Materialien.

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