Organic matter removing apparatus, organic matter removing method, ozone water jet nozzle, and organic matter removing apparatus for mask substrate
WO2004095550
Art A1
4. November 2004
Anmelder: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004095550
- Aktenzeichen
- EP04728636
- Anmeldetag
- 21. April 2004
- Veröffentlichung
- 4. November 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/027G03F7/42H01L21/304B08B3/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SEKISUI CHEMICAL CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sekisui Chemical
Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Osaka, tätig in den Bereichen Hochleistungskunststoffe, Bauelemente und elektronische Materialien.
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