2-stage laser device for exposure

WO2004095661 Art A1 4. November 2004

Anmelder: KOMATSU LTD., GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004095661
Aktenzeichen: EP04727983
Anmeldetag: 16. April 2004
Veröffentlichung: 4. November 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/23H01S3/223H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KOMATSU LTD.
GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Komatsu

Komatsu ist ein japanischer Hersteller von Baumaschinen, Bergbaugeräten und Industrieausrüstung mit Sitz in Tokio.

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🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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