Polishing apparatus

WO2004096492 Art A1 11. November 2004

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004096492
Aktenzeichen: EP04730027
Anmeldetag: 28. April 2004
Veröffentlichung: 11. November 2004
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/04B24B41/047H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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