Methode zum Bestimmen der Relativen einer Belichtungsmaske zu einem zu Belichtenden Objekt, Entsprechende Ausrichtungsmethode und Belichtungsmethode

WO2004099879 Art A2 18. November 2004

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004099879
Aktenzeichen
EP04732470
Anmeldetag
12. Mai 2004
Veröffentlichung
18. November 2004
Rechtsraum
WO
IPC
G03F9/00G03F7/20G03F7/00G03F1/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CANON KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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