Processing schedule making method, coating/developing apparatus, pattern forming device, and processing system

WO2004100234 Art A1 18. November 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004100234
Aktenzeichen: EP04730057
Anmeldetag: 28. April 2004
Veröffentlichung: 18. November 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/027G06F17/60

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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