Metall-Mems-Bausteine und Verfahren zu Ihrer Herstellung
WO2004102634
Art A2
25. November 2004
Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004102634
- Aktenzeichen
- EP04760784
- Anmeldetag
- 14. April 2004
- Veröffentlichung
- 25. November 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- The Regents of the University of California
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of California
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