Fine structure and method for preparation thereof

WO2004103893 Art A1 2. Dezember 2004

Anmelder: Dept Corporation, MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004103893
Aktenzeichen: EP04734346
Anmeldetag: 21. Mai 2004
Veröffentlichung: 2. Dezember 2004
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00H01L21/306H01L41/22H01L27/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Dept Corporation
MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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