Sensor Usable in Ultra Pure And Highly Corrosive Environments

WO2004105091 Art A2 2. Dezember 2004

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004105091
Aktenzeichen
EP04752179
Anmeldetag
14. Mai 2004
Veröffentlichung
2. Dezember 2004
Rechtsraum
WO
IPC
G01L9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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