Semiconductor manufacturing device and its heating unit

WO2004105103 Art A1 2. Dezember 2004

Anmelder: Eagle Industry Co., Ltd., Sukegawa Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004105103
Aktenzeichen: EP04745309
Anmeldetag: 19. Mai 2004
Veröffentlichung: 2. Dezember 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/3065H01L21/205F16L23/04F16L25/02F16L53/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Eagle Industry Co., Ltd.
Sukegawa Electric Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Eagle Industry Co., Ltd.

Japanischer Hersteller von Gleitringdichtungen und mechanischen Dichtungssystemen für Industrieanwendungen. Die Patente betreffen Dichtungstechnik und verwandte Maschinenkomponenten.

719 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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