Plasma processing apparatus, method for producing reaction vessel for plasma generation, and plasma processing method

WO2004107394 Art A2 9. Dezember 2004

Anmelder: MATSUSHITA ELECTRIC WORKS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004107394
Aktenzeichen: EP04734922
Anmeldetag: 26. Mai 2004
Veröffentlichung: 9. Dezember 2004
Rechtsraum: WO
IPC: B01J19/08C23C4/00H05H1/24H01L21/304H05K3/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MATSUSHITA ELECTRIC WORKS, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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