Adaptable processing element for a processing system and a method of making the same

WO2004108982 Art A2 16. Dezember 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Arizona, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004108982
Aktenzeichen: EP04785684
Anmeldetag: 3. Mai 2004
Veröffentlichung: 16. Dezember 2004
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C23C14/56H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Arizona, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von