Projektionsobjektiv sowie Verfahren zum Auswählen von Optischen Materialien in einem Derartigen Objektiv

WO2004111690 Art A1 23. Dezember 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004111690
Aktenzeichen: EP03740269
Anmeldetag: 18. Juni 2003
Veröffentlichung: 23. Dezember 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/02G02B13/14G03F7/20G02B13/24

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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