Method and apparatus for etching silicon and etched silicon body

WO2004112119 Art A1 23. Dezember 2004

Anmelder: SUMITOMO PRECISION PRODUCTS COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004112119
Aktenzeichen: EP04745756
Anmeldetag: 10. Juni 2004
Veröffentlichung: 23. Dezember 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMITOMO PRECISION PRODUCTS COMPANY LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Precision Products

Sumitomo Precision Products ist ein japanischer Hersteller von Präzisionskomponenten mit Sitz in Amagasaki, der zur Sumitomo-Unternehmensgruppe gehört und unter anderem Fahrwerke für Flugzeuge sowie Wärmetauscher fertigt. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, Kühltechnik und Mess- und Prüftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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