3-d shape measuring unit, processing unit, and production method for semiconductor device

WO2004113833 Art A1 29. Dezember 2004

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004113833
Aktenzeichen: EP04746758
Anmeldetag: 24. Juni 2004
Veröffentlichung: 29. Dezember 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01B21/20G02B21/30G01B11/24G02B15/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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