Resist composition with enhanced x-ray and electron sensitivity

WO2005001574 Art A1 6. Januar 2005

Anmelder: The Government of the United States of America as represented by the Secretary of the Navy 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005001574
Aktenzeichen
EP04775830
Anmeldetag
9. März 2004
Veröffentlichung
6. Januar 2005
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004G03C1/76
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
The Government of the United States of America as represented by the Secretary of the Navy
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 The Government of the United States of America As Represented By the Secretary of the Navy

Dieser Anmelder steht für Patente der US-Marine, angemeldet über die Regierung der Vereinigten Staaten. Das Patentportfolio deckt breit Halbleiterbauelemente, Mess- und Prüftechnik sowie Optik- und Fototechnik für militärische und maritime Forschung ab. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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